NF X10-507-1975
Насосы ионные распылительные. Методы определения эксплуатационных характеристик
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | NF X10-507-1975 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Насосы ионные распылительные. Методы определения эксплуатационных характеристик |
Заглавие на английском языке | VACUUM TECHNOLOGY - SPUTTER-ION PUMPS - MEASUREMENT OF PERFORMANCE CHARACTERISTICS |
МКС | 23.160 |