NF EN 62047-2-2006
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF EN 62047-2-2006 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 2 : tensile testing methods of thin film materials. |
| МКС | 29.045 * 31.080.01 |