JIS K 0148-2005
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS K 0148-2005 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
| МКС | 71.040.40 |