JIS H 0611-94
Пластинки кремниевые. Методы определения толщины, наклона и изгиба
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS H 0611-94 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Пластинки кремниевые. Методы определения толщины, наклона и изгиба |
| Заглавие на английском языке | Methods of measurement of thickness, thickness variation and bow for silicon wafer |
| МКС | 29.045 * 77.120.99 |