JIS H 0602-95
Кристаллы и кристаллические пластины кремниевые. Испытание удельного сопротивления четырехконтактным зондом
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | JIS H 0602-95 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Кристаллы и кристаллические пластины кремниевые. Испытание удельного сопротивления четырехконтактным зондом |
Заглавие на английском языке | Testing method of resistivity for silicon crystals and silicon wafers with four- point probe |
МКС | 29.045 * 77.120.99 |