ГОСТ Р 8.630-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.02.2008
Обозначение | ГОСТ Р 8.630-2007 |
---|---|
Полное обозначение | ГОСТ Р 8.630-2007 |
Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки |
Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes. Methods for verification |
Дата введения в действие | 01.02.2008 |
ОКС | 17.040.01 |
Код КГС | Т88 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год |
Ключевые слова | длина;рельефные меры нанометрового диапазона;сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы;методика поверки |
Термины и определения | Раздел стандарта |
Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
Дескрипторы (английский язык) | state system, uniformity ensuring, measurements, atomic-force scanning probe, measuring microscopes, verification |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ Р 8.628-2007; ГОСТ Р 8.629-2007; ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001; ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005; ГОСТ 12.2.061-81; ГОСТ ИСО 14644-1-2002; |
Управление Ростехрегулирования | 2 - Управление метрологии |
Технический комитет России | 441 - Нанотехнологии |
Дата последнего издания | 08.02.2011 |
Номер(а) изменении(й) | переиздание с изм. 1 |
Количество страниц (оригинала) | 15 |
Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" |
Статус | Действует |
Код цены | 2 |