ГОСТ Р 52250-2004

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Статус: Действует   Дата введения в действие: 01.01.2005


Обозначение

ГОСТ Р 52250-2004

Полное обозначение

ГОСТ Р 52250-2004

Заглавие на русском языке

Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Заглавие на английском языке

Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Дата введения в действие

01.01.2005

ОКС

71.080.99

Код ОКП

249642

Код КГС

Э10

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Ключевые слова

резист;чувствительность к излучению;разрешающая способность;состав параметров;сохраняемость;испытания;приемка

Термины и определения

Раздел стандарта

Вид стандарта

Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *

Дескрипторы (английский язык)

electronic engineering materials, resists, lithography processes, specifications

Нормативные ссылки на: ГОСТ

ГОСТ 2.114-95; ГОСТ 12.1.005-88; ГОСТ 12.1.007-76; ГОСТ 12.1.014-84; ГОСТ 33-2000; ГОСТ 3885-73; ГОСТ 7376-89; ГОСТ 10028-81; ГОСТ 13841-95; ГОСТ 14192-96; ГОСТ 14870-77; ГОСТ 17622-72; ГОСТ 19433-88; ГОСТ 22001-87; ГОСТ 27025-86; ГОСТ Р 50766-95;

Документ внесен организацией СНГ

Госстандарт России

Управление Ростехрегулирования

000 - Управление стандартизации

Технический комитет России

303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование

Дата последнего издания

02.07.2004

Количество страниц (оригинала)

31

Организация - Разработчик

Открытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ"

Статус

Действует

Код цены

3

Номер ТК за которым закреплен документ

303

Номер приказа о закреплении документа за ТК

217

Дата приказа о закреплении документа за ТК

31.01.2023