NF ISO 14606-2008
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве эталонных материалов
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF ISO 14606-2008 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Оптимизация с помощью послойных систем в качестве эталонных материалов |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials. |
| МКС | 71.040.40 |