JIS C 5630-2-2009
Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 2. Метод испытаний на растяжения тонких пленочных материалов
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS C 5630-2-2009 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 2. Метод испытаний на растяжения тонких пленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials |
| МКС | 31.080.01 * 31.220.01 |