JIS C 5630-1-2008
Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS C 5630-1-2008 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions |
| МКС | 01.040.31 * 31.080.01 * 31.220.01 |