JIS C 5630-3-2009
Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 3. Стандартный испытательных образец тонкой пленки для испытаний на растяжение
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS C 5630-3-2009 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 3. Стандартный испытательных образец тонкой пленки для испытаний на растяжение |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing |
| МКС | 31.080.01 * 31.220.01 |