JIS K 0160-2009
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS K 0160-2009 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy |
| МКС | 71.040.50 |