ГОСТ 8.592-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.11.2010
| Обозначение | ГОСТ 8.592-2009 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ 8.592-2009 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Geometrical shapes, linear size and manufacturing material requirements |
| Дата введения в действие | 01.11.2010 |
| ОКС | 17.040.01 |
| Код КГС | Т88 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов |
| Ключевые слова | длина;рельефные меры нанометрового диапазона;монокристаллической кремний;размеры;формы;материал;растровые электронные микроскопы;зондовые сканирующие атомно-силовые микроскопы |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, ensuring, uniformity, measurements, nanometer range, relief measure, single-crystal, silicon, geometrical shapes, linear size, manufacturing material, requirements |
| Аутентичный текст с ГОСТ | ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.591; ГОСТ 8.593; ГОСТ 8.594; ГОСТ 19658; |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) |
| Документ принят организацией СНГ | Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации |
| Номер протокола | 36-2009 |
| Дата принятия в МГС | 11.11.2009 |
| Присоединившиеся страны | Кыргызская Республика; Республика Армения; Республика Беларусь; Республика Казахстан; Республика Молдова; Республика Таджикистан; Республика Узбекистан; Российская Федерация; Украина |
| Управление Ростехрегулирования | 2 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 441 - Нанотехнологии |
| Дата последнего издания | 06.12.2019 |
| Номер(а) изменении(й) | переиздание |
| Количество страниц (оригинала) | 12 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия) |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |