NF ISO 14237-2010
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF ISO 14237-2010 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов |
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials |
| МКС | 71.040.40 |