JIS K 0164-2010
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS K 0164-2010 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon |
| МКС | 71.040.40 |
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS K 0164-2010 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for depth profiling of boron in silicon |
| МКС | 71.040.40 |