JIS C 5630-6-2011
Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 6.
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS C 5630-6-2011 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые устройства. Микромеханические устройства. Часть 6. |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials |
| МКС | 31.080.01, 31.220.01 |