OEVE/OENORM EN 60204-33:2011
Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 60204-33:2011 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию |
| Заглавие на английском языке | Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified) (german version) |
| МКС | 13.110;25.040.30;29.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 60204-33 (2009-02-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 126 |
| Статус | Действует |