NF EN 60204-33-2012
Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF EN 60204-33-2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию |
| Заглавие на английском языке | Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33 : requirements for semiconductor fabrication equipment |
| МКС | 13.110;29.020 |