ISO 16413:2013
Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных
Статус: Заменен Дата введения в действие: 12.02.2013
| Обозначение | ISO 16413:2013 |
|---|---|
| Статус | Заменен |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных |
| Заглавие на английском языке | Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry -- Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting |
| Дата отмены | 14.08.2020 00:00:00 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 35.240.70; 71.040.40 |
| Обозначение заменяющего | ISO 16413:2020 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 12.02.2013 |
| Количество страниц оригинала | 38 |
| Код цены | E |