JIS C 5630-12-2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12: Усталостные испытания на изгиб тонкопленочных материалов с использованием резонансных колебаний структуры микроэлектромеханических систем
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | JIS C 5630-12-2014 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12: Усталостные испытания на изгиб тонкопленочных материалов с использованием резонансных колебаний структуры микроэлектромеханических систем |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures |
| МКС | 31.080.01, 31.220.01 |