DIN 32567-4-2015
Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 4. Образцы для оптических методов
Статус: Дата введения в действие: 01.06.2015
Обозначение | DIN 32567-4-2015 |
---|---|
Заглавие на русском языке | Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 4. Образцы для оптических методов |
Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures |
Дата опубликования | 01.06.2015 |
МКС | 39.020 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 32567-4(2014-11) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 13 |
Перекрестные ссылки | DIN 32564-1(2004-05)* DIN 32567-1(2015-06)* DIN 32567-2(2014-10)* ISO 8255-1(2011-04)* |
Код цены | Preisgruppe 9 |