DIN 32567-1-2015

Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 1. Количественная оценка материалов и конкретные виды влияния

Статус:   Дата введения в действие: 01.06.2015


Обозначение

DIN 32567-1-2015

Заглавие на русском языке

Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптические и тактильные линейные и угловые измерения. Часть 1. Количественная оценка материалов и конкретные виды влияния

Заглавие на английском языке

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 1: Qualitative estimation of the material and procedure specific influences

Дата опубликования

01.06.2015

МКС

39.020

Вид стандарта

ST

Обозначение заменяемого(ых)

DIN 32567-1(2014-11)

Язык оригинала

немецкий

Количество страниц оригинала

19

Перекрестные ссылки

DIN 32564-1(2004-05)* DIN EN ISO 3274(1998-04)* DIN EN ISO 25178-2(2012-09)* DIN EN ISO 25178-6(2010-06)* DIN EN ISO 25178-601(2011-01)* DIN EN ISO 25178-602(2011-01)* DIN EN ISO 25178-603(2014-02)* DIN EN ISO 25178-604(2013-12)* DIN EN ISO 25178-605(2014-06)* DIN EN ISO 25178-606(2013-02)(Draft)* VDI/VDE 2602(1983-09)* VDI/VDE 2617 Blatt 12.1(2011-03)* VDI/VDE 2629 Blatt 1(2008-08)* VDI/VDE 2629 Blatt 2(2012-06)* VDI/VDE 2655 Blatt 1.1(2008-03)* VDI/VDE 2655 Blatt 1.2(2010-10)* VDI/VDE 2656 Blatt 1(2008-06)*

Код цены

Preisgruppe 11