NF EN 62047-15-2015
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 15. Метод определения силы сцепления между PDMS и стеклом
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | NF EN 62047-15-2015 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 15. Метод определения силы сцепления между PDMS и стеклом |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 15 : test method of bonding strength between PDMS and glass |
| МКС | 31.080.99 |