DIN EN ISO 25178-603-2014
Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности: Ареал. Часть 603. Номинальные характеристики неконтактных инструментов (инферометрическая микроскопия с фазовращением)
Статус: Дата введения в действие: 01.02.2014