ISO 21859:2019
Керамика тонкая (высококачественная керамика, высококачественная техническая керамика). Метод определения плазменного сопротивления керамических компонентов оборудования для электронной техники
Статус: Действует Дата введения в действие: 18.06.2019
| Обозначение | ISO 21859:2019 |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Керамика тонкая (высококачественная керамика, высококачественная техническая керамика). Метод определения плазменного сопротивления керамических компонентов оборудования для электронной техники |
| Заглавие на английском языке | Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) -- Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment |
| Код КС (ОКС, МКС) | 81.060.30 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 206 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 18.06.2019 |
| Количество страниц оригинала | 10 |
| Код цены | A |