ISO 21466:2019
Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM
Статус: Действует Дата введения в действие: 13.12.2019
| Обозначение | ISO 21466:2019 |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM |
| Заглавие на английском языке | Microbeam analysis Scanning electron microscopy Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM |
| Код КС (ОКС, МКС) | 37.020 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 202/SC 4 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 13.12.2019 |
| Количество страниц оригинала | 54 |
| Код цены | F |