BS EN ISO 14644-15:2017
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | BS EN ISO 14644-15:2017 |
---|---|
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration |
Количество страниц оригинала | 30 |