BS ISO 13083:2015
Статус: Дата введения в действие:
| Обозначение | BS ISO 13083:2015 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis. Scanning probe microscopy. Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes |
| Количество страниц оригинала | 26 |