BS EN ISO 14644-2:2015
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | BS EN ISO 14644-2:2015 |
---|---|
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments. Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration |
Количество страниц оригинала | 26 |