BS EN ISO 14644-14:2016
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | BS EN ISO 14644-14:2016 |
---|---|
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration |
Количество страниц оригинала | 32 |