BS ISO 16413:2020
Статус: Дата введения в действие:
Статус: Дата введения в действие:
Обозначение | BS ISO 16413:2020 |
---|---|
Заглавие на английском языке | Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting |
Количество страниц оригинала | 42 |