ГОСТ Р 71024-2023
Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.03.2024
Обозначение | ГОСТ Р 71024-2023 |
---|---|
Полное обозначение | ГОСТ Р 71024-2023 |
Заглавие на русском языке | Пластины маскированные для фотошаблонов. Термины и определения |
Заглавие на английском языке | Masked plates for photomasks. Terms and definitions |
Дата введения в действие | 01.03.2024 |
ОКС | 31.180 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области маскированных пластин для фотошаблонов. Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и контроля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих работ |
Ключевые слова | маскированные пластины, резистовые пластины, стеклянные заготовки, фотошаблоны, термины, определения |
Термины и определения | Весь стандарт |
Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
Управление Ростехрегулирования | 1 - Управление стандартизации |
Технический комитет России | 303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование |
Дата последнего издания | 07.11.2023 |
Количество страниц (оригинала) | 12 |
Организация - Разработчик | Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт») |
Статус | Действует |
Код цены | 2 |
Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
Номер приказа о закреплении документа за ТК | 1205-ст |
Дата приказа о закреплении документа за ТК | 19.10.2023 |