ISO 8181:2023
Атомно-слоевое осаждение. Словарь
Статус: Действует Дата введения в действие: 16.10.2023
| Обозначение | ISO 8181:2023 |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Атомно-слоевое осаждение. Словарь |
| Заглавие на английском языке | Atomic layer deposition Vocabulary |
| Код КС (ОКС, МКС) | 01.040.25; 25.220.01 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 107 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 16.10.2023 |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| Код цены | A |