ГОСТ Р 71422-2024
Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.03.2025
| Обозначение | ГОСТ Р 71422-2024 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ Р 71422-2024 |
| Заглавие на русском языке | Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия на основе сферического шлифа |
| Заглавие на английском языке | The epitaxial structures and dielectric films. Method for measuring the thickness of gallium arsenide epitaxial layers based on a spherical section |
| Дата введения в действие | 01.03.2025 |
| ОКС | 33.060.99 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанавливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в структурах галлия |
| Ключевые слова | эпитаксиальные структуры, метод измерения толщины слоя, сферический шлиф |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 12.1.004; ГОСТ 12.2.003; ГОСТ 12.3.019; ГОСТ 12.4.005; ГОСТ 12.4.121; ГОСТ 12.4.253; ГОСТ 3118; ГОСТ 5556; ГОСТ 6259; ГОСТ 6552; ГОСТ 10929; ГОСТ 11125; ГОСТ 20010; ГОСТ 22622; ГОСТ 29298; ГОСТ Р 55878; ГОСТ Р 58144; |
| Управление Ростехрегулирования | 1 - Управление стандартизации |
| Технический комитет России | 303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование |
| Дата последнего издания | 13.06.2024 |
| Количество страниц (оригинала) | 12 |
| Организация - Разработчик | Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт») |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 721-ст |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 06.06.2024 |