ГОСТ Р 71645-2024
Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.03.2025
| Обозначение | ГОСТ Р 71645-2024 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ Р 71645-2024 |
| Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый. Метод измерения концентрации примесей |
| Заглавие на английском языке | Silicon is a semiconductor. Method of measuring the concentration of impurities |
| Дата введения в действие | 01.03.2025 |
| ОКС | 29.045 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на вновь разрабатываемый и модернизируемый полупроводниковый кремний и устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод измерения концентрации примесей с возбуждением спектров разрядов с горячим полым катодом. Интервалы определяемых значений концентрации примесей приведены в приложении А. Стандарт следует применять для выбора параметров при разработке технических заданий (ТЗ) на научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, программ испытаний (ПИ), опытных образцов, стандартов на методы измерений, номенклатуру показателей системы показателей качества и технического уровня полупроводникового кремния |
| Ключевые слова | кремний полупроводниковый, метод, концентрация примесей |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123; ГОСТ 804; ГОСТ 849; ГОСТ 859; ГОСТ 860; ГОСТ 1089; ГОСТ 1277; ГОСТ 1467; ГОСТ 1770; ГОСТ 3640; ГОСТ 3778; ГОСТ 3885; ГОСТ 4530; ГОСТ 4568; ГОСТ 5905; ГОСТ 6008; ГОСТ 6217; ГОСТ 6835; ГОСТ 9293; ГОСТ 10297; ГОСТ 10691.1; ГОСТ 10928; ГОСТ 11069; ГОСТ 11125; ГОСТ 12797; ГОСТ 13510; ГОСТ 13637.1; ГОСТ 14261; ГОСТ 22622; ГОСТ 24222; ГОСТ 2922; ГОСТ Р 53228; ГОСТ Р 55878; |
| Документ принят организацией СНГ | Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации |
| Управление Ростехрегулирования | 1 - Управление стандартизации |
| Технический комитет России | 303 - Электронная компонентная база, материалы и оборудование |
| Дата последнего издания | 09.10.2024 |
| Количество страниц (оригинала) | 12 |
| Организация - Разработчик | Акционерное общество «Российский научно-исследовательский институт «Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт») |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 1339-ст |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 01.10.2024 |