Каталог DIN — национальные стандарты Германии
найдено документов: 3 страниц: 1
DIN 50451-3-1994
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение следов металла в жидкостях. Определение содержания алюминия, кобальта, меди, натрия, никеля, цинка в азотной кислоте методом ICP-MSTesting of materials for semiconductor technology - Determination of traces of metals in liquids - Part 3: Al, Co, Cu, Na, Ni and Zn in nitric acid with ICP-MS
Количество страниц: 2 Статус:
DIN 50451-3-2003
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 3. Определение содержания алюминия (Al), кобальта (Co), меди (Cu), натрия (Na), никеля (Ni) и цинка (Zn) в азотной кислоте с помощью ICP-MS масс-спектрометра с индуцируемой плазмойTesting of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS
Количество страниц: 8 Статус:
DIN 50451-3-2014
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в сверхчистой азотной кислоте методом масс-спектрометрического анализа с индуктивно-связанной плазмойTesting of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Determination of 31 elements in high-purity nitric acid by ICP-MS
Количество страниц: 19 Статус:
найдено документов: 3 страниц: 1
- 1